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露点仪技术指标

 三、露点仪技术指标 
露点仪测量范围:露点-80~+20℃,(支持ppmv等)
露点仪露点精度:±0.5℃(在一定量程内)
(当露点温度低于0℃,传感器输出为霜点)
响应时间:63%[90%]
+60→-20℃ Td 5s[45s]
-20→-60℃ Td 10s[240s]
分辨率:露点0.1℃或0.1ppm
重复性:±0.2℃
露点仪气体流量:SF 6 调节在0.5~0.9L/min,H 2 调节在0.1~0.4L/min
压力测量:0~1.0MPa

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